ミーリング事例：フラットミーリングなど

BGAフラットミーリング事例

アルゴンイオンを試料表面に照射すると、試料表面から試料の原子が弾き飛ばされます。この現象をスパッタリングと呼びます。フラットミーリング装置はスパッタリングによって5mm径までの大きさを均等にエッチングすることができます。SEM試料の作製や表面膜の除去などに使われます。
添付写真はフラットミーリング後の断面写真です。金属結晶の境界がはっきりとわかります。

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