近赤外線加熱装置の概要

実装部品・Siウェハーの電子材料から、鉛フリー・軽金属・鉄系の金属材料、ガラス・セラミックスの無機材料、及び、高分子材料等の加熱・その場観察(計測)に最適。
さらに、応力負荷時の加熱・その場観察(計測)等へと、幅広い利用が可能です。

リアルタイム温度制御

リアルタイム温度制御

熱容量の少ない加熱系は定格出力まで秒速高応答、しかも系内には熱線を遮断する物がなく、試験試料の直接温度制御を可能にします。

クリーン急速加熱冷却

クリーン急速加熱冷却

熱容量の少ないランプヒータと冷却反射集光炉体、超高温までの急速加熱冷却能力と温度制御ができます。あらゆる温度シミュレーション試験を可能にします。

手軽な高温度顕微鏡観察

手軽な高温度顕微鏡観察

観察用光学石英窓は超長作動対物レンズ、マクロズーム観察を可能にします。観察窓の影響の少ない全周囲からの加熱です。

 

近赤外線加熱装置 システム展開

加熱能力と温度制御(IR-QP2-4)

高い加熱能力と温度制御性はアイソサーマル試験や測定を始め、小物ライン加熱までご利用できます。

加熱能力と温度制御(グラフ)
 

試料ホルダ(IR-HP2-6に取り付け)

高い加熱能力と温度制御性はアイソサーマル試験や測定を始め、小物ライン加熱までご利用できます。

試料ホルダ
 

高温観察・金の融解寸前ビデオ画像

マクロズーム観察ユニットによる画像、市販ビデオカメラ搭載で簡便な高温観察システム展開が可能です。

高温観察・金の融解寸前ビデオ画像
 

超高温資料ホルダ/冷却ノズル

るつぼ、ボートを装着できるホルダは白金製。急冷ガスノズルによる冷却制御も可能です。

超高温資料ホルダ/冷却ノズル
 

近赤外線イメージ炉 仕様

型式 IR-TP1-2 IR-QP1-2 IR-QP1-4 IR-QP2-4 IR-HP2-6 IR-HP2-9
最高使用温度 1450℃ 1700℃ 1200℃ 1500℃
炉体構造 2楕円共有集光
加熱炉体構造-2楕円共有集光
4楕円共有集光
加熱炉体構造-4楕円共有集光
6放物面反射放射
加熱炉体構造-6放物面反射放射
使用雰囲気 1000度までは真空、1000度以上はガス雰囲気中、フロー中
加熱炉蓋開口部 φ49 56W47H 100W45H 110W50H
加熱長 110mm 210mm
均熱ゾーン φ10〜15,50mm φ10〜15,100mm φ50,70L(3"薄板)
使用ランプ 1Kw×2 0.5Kw×4 1Kw×4 2Kw×4 1Kw×6 2Kw×6
定格電力 100V2Kw 200V4Kw 200V8Kw 200V6Kw 200V12Kw
重力Kg 2.6 3.6 3.6 4.5 6.5
形状 115W100H260L 115W140H260L 115W140H360L 160W180H360L
冷却水(L/min) 1 1 3 4 4 6
観察ポート WD22石英窓 WD75石英窓 なし
真空排気口 NW16(ISO) 1/4スエジロック
(オプションでNW16(ISO9)
NW16(ISO) NW16(ISO)
熱電対機密口 2対素線機密取り出し 加熱炉蓋に取り付け可能・2ヶ所 炉蓋に試料ホルダ取り付け、熱電対2対
ガス導入口 φ9タケノコ・観察ポート部 炉蓋に1/4スエジロック
応用 溶解、反応、結晶化高温顕微鏡観察、電子部品高温試験観察 汎用熱処理、ランプ変更で遠赤外加熱も可能、石英管による超高真空加熱 超高温熱処理、熱衝撃試験、物性測定、熱分析、高温観察(接触角) 高温引張試験、高温シュミレータ、連続熱処理炉 半導体基板加熱シミレーション、高温引張試験、高温シュミレータ、連続熱処理炉 半導体ウエハ半時間熱処理(RTA)、高温引張試験、高温シュミレータ、連続熱処理炉

オプション

型式 IR-TP1-2 IR-QP1-2 IR-QP1-4 IR-QP2-4 IR-HP2-6 IR-HP2-9
炉蓋試料ホルダ   白金製箱型11W8H32Lサポート管付き 白金製箱型16W8H80L 3インチウエハ用・石英製
試料容器   るつぼφ10外径・15H/ポート      
石英保護管   30φ用マニュホールド付き 60φ用マニュホールド付き
サンプル管 加熱炉中心15φ半割50Lアルミナ管 15φ反割100Lアルミナ管 ご指定サンプルホルダ・石英製
観察用レンズ 顕微鏡対物レンズPD95 0.5〜2.0倍絞り機構、WD90mm・スライドXYZ移動    

近赤外線加熱装置のお問い合わせ

米倉製作所では、高度化、多様化するユーザーのみなさまのニーズに、きめ細やかにお応えするとともに、新たな技術と製品の開発に努めます。

近赤外線加熱装置をはじめとする各種試験機について、ご質問、ご要望等ございましたら、お気軽にお問い合わせください。

※サンプルの加熱観察テスト、横浜事業所に来社いただいてのデモも行っておりますので、
 ご希望の場合はご連絡ください。

 
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