チップ部品等の微小実装部品から基板(□100mm)・コネクター等のその場観察を実現
| 装置名称 | 大型高温観察装置 MS-HP500 |
|---|---|
| 温度範囲 | RT~500℃ |
| 雰囲気 | 真空排気後高純度ガス中・ガスフロー中 |
| 到達真空度 | 10-2 Torr |
| 真空引口 | NW16 |
| 試料ステージ | □100mm |
| 加熱方式(ヒーター容量) | 近赤外線ランフ゜発光・反射集光加熱(1.5kwランプ 4本) |
| 冷却方式 | ガス吹きつけ |
| 加熱・冷却特性 | +500℃まで20秒以内 |
| 安全対策 | 炉体水冷・ランプ空冷・保安措置付き |
| 温度制御 | デジタルプログラムPID-SCR |
| プログラム設定 | 16セグメント16パターン |
| 温度制御精度 | ±0.1%+1dig 0.1℃分解能 |
| 温度センサー | R型熱電対 |
| 装置外形寸法 | 炉本体 160W×180H×360L |
| 温度制御器 132.5W×265H×370D | |
| ユーティリティ | 電源 AC200V30A |
| ガス導入口φ6-4mmビニールパイプ用金具 | |
| ガス排気口φスエジロック1/4接続ポート | |
| 冷却水出入り口φ8-6mm樹脂チューブ用金具 |
米倉製作所では、高度化、多様化するユーザーのみなさまのニーズに、きめ細やかにお応えするとともに、新たな技術と製品の開発に努めます。
基板の観察が可能な加熱観察装置のほか各種装置について、ご質問、ご要望等ございましたら、お気軽にお問い合わせください。
※サンプルの加熱観察テスト、横浜事業所に来社いただいてのデモも行っておりますので、
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