プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート(PGMEA)
概要
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート(PGMEA)は、化学式 C6H12O3 で、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)のアセタートエステルです。弱いエーテル臭を持っています。用途には、半導体産業のレジスト溶剤(フォトリソグラフィープロセスでの洗浄やパターン形成)、塗料、印刷インクの溶剤などがあります。
沸点 | 約146℃ |
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洗浄・脱脂で使われる有機溶剤一覧
- 炭化水素系溶剤
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