プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート(PGMEA)

概要

プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート(PGMEA)は、化学式 C6H12O3 で、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)のアセタートエステルです。弱いエーテル臭を持っています。用途には、半導体産業のレジスト溶剤(フォトリソグラフィープロセスでの洗浄やパターン形成)、塗料、印刷インクの溶剤などがあります。

沸点 約146℃

洗浄・脱脂で使われる有機溶剤一覧

炭化水素系溶剤
アルコール系溶剤
ケトン系溶剤
その他の溶剤