半導体製造過程で排出されるVOCをリサイクル
- Before -
このようなお困りはありませんか?
VOC回収装置を導入しているが、吸着効率が上がらない
多様なVOCを効率的に回収できる装置を探している
-
エッチング工程等で発生する大量のVOCをリサイクルしたい
ランニングコストが低いVOC回収装置を検討したい
- After -
さまざまな製造過程で発生する
VOCの回収・リサイクルを実現
希薄VOCからの処理が可能
廃液の自社リサイクルを実現Cl系有機物が含有していても対応可能
-
省ランニングコスト
回収した溶剤のリサイクルが可能
お客様に最適な事業者を紹介
使用量やリサイクル方法によって最適な事業者は異なります。お客様のニーズに合った事業者をご確認ください。クリックで特徴など詳細をご覧いただけます。
事業者名
特徴
対応情報
関連情報
・大流量・高濃度のVOC処理
・吸収液(IPAなど)は繰り返し利用可
・着火の危険なし+少ない排水
処理方法
吸収-蒸留法など応相談形態
装置販売
吸収-蒸留法など応相談形態
装置販売
対応溶剤
応相談
応相談
・希薄VOCからの処理
・ランニングコスト削減
・VOC回収
処理方法
圧着スイング吸着形態
装置販売
圧着スイング吸着形態
装置販売
対応溶剤
トルエン、キシレン、塩化メチレン、酢酸エチル、エチルベンゼン、フッ素系溶剤など
トルエン、キシレン、塩化メチレン、酢酸エチル、エチルベンゼン、フッ素系溶剤など