半導体製造過程で排出されるVOCをリサイクル半導体製造過程で排出されるVOCをリサイクル

- Before -
このようなお困りはありませんか?

  • チェックアイコンVOC回収装置を導入しているが、吸着効率が上がらない
  • チェックアイコン多様なVOCを効率的に回収できる装置を探している
    • チェックアイコンエッチング工程等で発生する大量のVOCをリサイクルしたい
    • チェックアイコンランニングコストが低いVOC回収装置を検討したい

    このようなお困りはありませんか?

- After -
さまざまな製造過程で発生する
VOCの回収・リサイクルを実現

  • チェックアイコン希薄VOCからの処理が可能
    廃液の自社リサイクルを実現
  • チェックアイコンCl系有機物が含有していても対応可能
    • チェックアイコン省ランニングコスト
    • チェックアイコン回収した溶剤のリサイクルが可能

    課題解決

お客様に最適な事業者を紹介

使用量やリサイクル方法によって最適な事業者は異なります。お客様のニーズに合った事業者をご確認ください。クリックで特徴など詳細をご覧いただけます。

・大流量・高濃度のVOC処理
・吸収液(IPAなど)は繰り返し利用可
・着火の危険なし+少ない排水
処理方法
吸収-蒸留法など応相談
形態
装置販売
対応溶剤
応相談
・希薄VOCからの処理
・ランニングコスト削減
・VOC回収
処理方法
圧着スイング吸着
形態
装置販売
対応溶剤
トルエン、キシレン、塩化メチレン、酢酸エチル、エチルベンゼン、フッ素系溶剤など

IPAなどお問い合わせの多い溶剤は、再生・回収可能です。対応する企業や装置は、以下ページをご覧ください。