電子部品・半導体製造工程で
使用される溶剤と対応企業のご紹介

電子材料グレード（ELグレード）溶剤と一般的な工業用標準グレードの溶剤では、主に「純度」と「不純物の管理単位」に違いがあります。
標準グレードの溶剤は、塗料の希釈や一般的な金属部品の脱脂・洗浄などに用いられます。全体の純度は99%〜99.5%程度であり、用途上問題にならない範囲の水分や、製造設備に由来する金属成分、微粒子などが含まれています。

一方、半導体や電子部品の製造プロセスで使用される高品質なELグレード溶剤は、純度99.9%から99.99%以上の水準で製造されます。最大の違いは、ナトリウム、カリウム、鉄などの金属不純物をppb（10億分の1）からppt（1兆分の1）という単位まで低減し、さらに液中に含まれるごく少量の金属不純物含有量についても、一定値以下であることが金属・不純物保証として表示される点です。

半導体のナノメートル単位の回路において、微量でも金属イオンが残留すると、シリコン基板の内部に拡散して電気的特性を変化させる原因になります。また、目に見えない微粒子がひとつ付着するだけで、配線のショートや断線を招きます。標準グレードの溶剤ではこうした微視的な不良要因を排除できないため、専用の精製設備で異物を取り除き、金属・パーティクルの不純物保証がなされたELグレード溶剤が使用されます。