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受託にてハンダ内ボイドのX線加熱検査を行います |
X線検査装置
ナノフォーカスX線CT装置＜TOHKEN-Sky Scan2011＞
特 長
超微小焦点のX線源・高精度ステージ・高密度X線検出器の採用で、ナノレベルの検査を実現し、高密度材料の構造解析を可能にしました。
・最高空間分解能：150nm/voxel
・管電圧：20〜80kV
X線顕微検査装置＜TUX-3000W＞
特 長
高輝度・微小焦点のX線源搭載により、従来コントラストのつかなかった軽素材や、高分解能を必要する構造物の撮像が可能になりました。
・最小焦点サイズ：0.4µm
・管電圧：40〜120kV
・幾何倍率：1,500倍（モニター上 6,000倍）
X線CT装置＜TUX-3000W＋CT＞
特 長
X線顕微検査装置にマニピュレータユニットとCTソフトを追加することによって、手軽にCT撮像を行うことができるようになりました。透過画像に加えて断面と立体構造を確認することができます。
加熱装置＜TUX-3000W＋加熱ユニット＞
特 長
プロファイルの設定によりリフローを再現できます。
加熱しながらX線撮像を行うことにより、ハンダボール内のボイド発生過程や部品の熱変形をリアルタイムで観察できます。
・最大試料サイズ：40×40×6mm
X線顕微検査装置＜TUX-5000F＞
特 長
新開発のX線源にショットキーエミッターとFE型電子銃を採用し、焦点サイズ0.1µmの極小化を実現しました。次元の異なる高い分解能で検索範囲の限界を広げます。
・焦点サイズ：0.1µm
・管電圧：20〜80kV
・幾何倍率：2,500倍（モニター上 10,000倍）
大型基板対応X線検査装置＜TUX-3100＞
特 長
400×400mmの大型実装基板をカットせずに、実装部品を最大60度の傾斜をつけて観察することができます。
・最小焦点サイズ：0.4µm
・管電圧：40〜120kV
・幾何倍率：1,000倍
傾斜X線CT装置
特 長
大型の基板をカットせずに、透過像では確認できなかった断面及び3D画像で、実装部分の不良解析を行うことができます。
・焦点サイズ：0.4µm
・管電圧：40〜120kV
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東京都調布市多摩川2-27-7 東研第２テクニカルセンター
TEL:042-484-6851 FAX:042-484-6852
URL:http://www.tohken.co.jp/xi/
E-mail：xi@tohken.co.jp
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