◆ファインセラミックスの用途
- 耐熱部品
- 耐摩耗部品
- 機械構造部品
- 低放射性セラミックス
- セラミックカッター
- 超伝導材料溶解用ルツボ
- スパッタリングターゲット材
- 高純度セラミックス
- 希土類酸化物セラッミクス
◆緻密質
■緻密質(Y2O3)安定化ジルコニアセラミックス
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■特長・用途
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■物性
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◆複合材ジルコン酸バリウム
希土類系高温超伝導体溶解、単結晶育成用るつぼ、および レニウムー水銀系超伝導体焼結用容器として開発されました。高温超伝導物質と反応しない、るつぼから結晶への不純物混入がない、という利点があります。■特性・用途
- 構造:立方ペロブスカイト
- 融点:2600℃
- 相転移:無
- 熱膨張係数:ZrO2より小(熱衝撃に強い)
- 理論密度:6.242g/cm3
◆材料特性一覧
| ■緻密質 | |||||||||
| 主成分 | AL2O3 | MgO | CaO | ZrO2(Y2O3)安定 | SiO2 | ||||
| 化 学 組 成 |
AL2O3 | % | >99.99 | >99.5 | <0.003 | <0.4 | 0.03 | <0.16 | <0.03 |
| MgO | % | (<10ppm) | <0.05 | >99.9 | >98.5 | 0.0005 | |||
| SiO2 | % | (<40ppm) | <0.5 | <0.003 | <0.05 | >98.5 | |||
| CaO | % | (<20ppm) | <0.005 | <0.05 | >99.9 | ||||
| ZrO2 | % | <0.4 | 94.6 | ||||||
| SiC | % | 5.4 | |||||||
| TiO2 | % | ||||||||
| Na2O | % | (<20ppm) | <0.06 | <0.003 | |||||
| Fe2O3 | % | (<20ppm) | <0.01 | <0.001 | <0.03 | <0.0001 | |||
| 嵩比重 | 3.9 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 6.0 | 2.0 | |||
| 吸水率 | % | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| 熱膨張係数 | 8.1 | 13.3 | 13.3 | 13.6 | 9 | 0.5 | |||
| 熱伝導率 | 21.6 | 10.8 | 10.8 | 14.4 | 14.4 | ||||
| 体積抵抗率 | >10x14 | >10x14 | >10x14 | >10x14 | |||||
| 曲げ強度 | 3000 | 1000 | 1000 | 13000 | |||||
| 融点 | ℃ | 2050 | 2050 | 2830 | 2830 | 2630 | 2680 | 1728 | |
| 耐火度 | ℃ | ||||||||
| 主要製品 | 「るつぼ」 高温用炉材高温用サヤ雰囲気炉用炉芯管 |
超高温用 断熱材 炉材 |
「るつぼ」 炉材 炉芯管 ロート 各種耐火物 |
「るつぼ」 高温炉用炉材 |
「るつぼ」 溶湯用スリーブ ノズル 型 |
「るつぼ」 | 溶湯用サンプラー 原料用焼成用容器 セッター シャーレ |
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◆スパッタリングターゲット
酸化物スパッタリングターゲットは、IC、VLSI等電子デバイスをはじめ、磁気メディア用、プリンター、 センサー等の広い分野で使用。
弊社では長期により蓄積してきたノウハウを駆使。ユニークな粉体製造技術、成形技術及び焼成技術により、高純度・高品質な信頼性の高い酸化物スパッタリングターゲットを製作。
■標準一覧表
| 材質 | 純度(%) | φ4”×t6 | φ6”×t6 | φ8”×t6 | φ10”×t6 | φ12”×t6 | φ15”×t6 | 5”×15”×t6 5”×18”×t6 |
| Y2O3 | 3N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | |||
| CaO | 3N | ◯ | ||||||
| MgO | 2N・3N | ◯ | ◯ | ◯ | ||||
| SiO2 | 3N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | |||
| ムライト | 3N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | |||
| Al2O3 | 2N・4N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ |
| TiO2 | 3N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | |||
| ZnO | 3N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | |||
| ZrO2 | 3N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | |||
| PSZ | 3N | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ | ◯ |
■るつぼ適正表



