■外観検査
外観状態
(リード、メッキ、マーキング、パッケージ)
寸法精度
(リードピッチ、スタンドオフ寸法、外観)
■開封前検査
ボンディング状態
(ワイヤループ、ダイボンド材のぬれ性)
モールド樹脂状態
(クラック、樹脂とリードフレーム間の密着性)
■内部表面・断面観察
モールド樹脂の開封後に
・パッシベーション膜の状態 (クラック、ボイド)
・ チップ表面の異物、変色、配線の欠陥
・破壊箇所
・ワイヤボンドの合金層の状態
配線、層間膜のエッチング後に
・配線の欠陥、層間膜の状態 (クラック、ボイド)
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