セラミック製品事例 - 測定器具の事例紹介

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構造用大型セラミックス

測定器具事例

セラミックス真空チャック / ラップ定盤 / 精密定盤 / エアテーブル / スライドガイド / 測定器具

セラミック製 軽量・超精密測定器具

直定規(ストレッチ)

直定規

納入形態:箱入り(平板品)

サイズ(mm) 形状 精度仕上面 真直度 材質・色調 重量(kg)
3000×100×30 平板品 直角2面 2µm以下 Al2O3
99.5%以上
淡黄色
36
2500×100×30 30
2000×100×30 24
1500×100×30 18
1000×100×30 12
サイズ(mm) 形状 精度仕上面 真直度 材質・色調 重量(kg)
3000×80×80 中空品 直角2面 2µm以下 Al2O3
99.5%以上
淡黄色
46
2500×80×80 39
2000×80×80 31
1500×80×80 23
1000×80×80 15

※上記サイズは有効測定長さを示す。重量は基準重量。
納入形態:化粧箱入り、検査成績書添付

四直角マスター

四直角マスター

形状写真(中空品)

サイズ(mm) 精度仕上面 直角度 真直度 材質・色調 重量(kg)
1000×1000×16 直角4面 5µm以下 5µm以下 Al2O3
99.5%以上
淡黄色
24
サイズ(mm) 精度仕上面 直角度 真直度 材質・色調 重量(kg)
1000×1000×60 直角4面 5µm以下 5µm以下 Al2O3
90%以上
黒灰色
70

※上記サイズは有効測定長さを示す。重量は基準重量。
納入形態:化粧箱入り、検査成績書添付

  • 高剛性のため自重によるたわみが小さい測定器具です。(ヤング率 380GPa)
  • 直定規(ストレッチ)真直度2µm以下、四直角マスター真直度・直角度5µm以下で高精度です。
  • 軽量ですので、ハンドリングが容易です。
  • 緻密質のため、経年変化小。低熱膨張により、温度変化小。
  • 校正証明書を発行できます。(オプション)

メートル級長尺品の真直度測定ユニット

真直度測定ユニット

長さ1m直定規の計測状況

  • 定盤や装置ステージに直接載せて信頼性の高い真直度が測定できます。
  • 高剛性・超精密セラミックス製エアスライダ採用により長尺品が高精度に測定。
  • ワークの垂直面内と水平面内の真直度が測定できます。
  • 測定データのパソコン組込み・保存が可能です。
測定範囲(mm) 400 800 2400
真直度精度(µm) 0.6 1.0 2.0
測定ヘッド 電気マイクロメータ
表示分解能(µm) 0.1
測定間隔・速度(mm/sec) 1〜30(測定間隔、速度は可変)

※真直度精度は校正証明書など別途ご相談させて頂きます。


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