セラミックス真空チャックの事例紹介

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構造用大型セラミックス

セラミックス真空チャック事例

セラミックス真空チャック / ラップ定盤 / 精密定盤 / エアテーブル / スライドガイド

セラミックス真空チャックとは?

セラミックス真空チャックとは、対象物を変形させることなく均一に吸着し固定させるもので、表面検査等に用いられます。対象物はシリコンウェハ、液晶基板などです。

セラミックス真空チャックの事例

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セラミックス真空チャックなどのお問い合わせ

他社では難しいとされる、セラミックス真空チャックなどの製品サイズや加工精度などに対しても、お客様のご要求にお応えします。
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対応可能な素材:アルミナ、ジルコニア、窒化ケイ素
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