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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
330×260×48h
仕様：焼結体
用途：リブ付定盤 |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
Ø400×Ø230×16ｔ
仕様：焼結体
用途：
ウエハー検査用ホルダー部材 |
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材質：
アルミナ90%
寸法：
600×500×40ｔ
仕様：
平面度，平行度
7μm以下
用途：加熱定盤 |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
Ø550×Ø430×55h
仕様：加工品
用途：
半導体製造装置用絶縁リング |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
570×470×4t
仕様：
平面度30μm以下
用途：
液晶製造装置用ｶｾｯﾄ |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
Ø550×Ø230×30ｔ
仕様：焼結体
用途：--- |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
550×350×20t(5t)
仕様：
平面度，平行度
30μm以下
用途：
液晶製造装置用部品 |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
600×450×20t
仕様：粗加工品
用途：
液晶製造装置用部材 |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
1000×500×15t
仕様：加工品
用途：定盤 |
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材質：窒化ケイ素
寸法：---
仕様：---
用途：
アルミ溶湯用部品 |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
Ø395×Ø340×62h
仕様：焼結体
用途：
半導体製造装置用部材 |
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材質：
アルミナ99.5%
寸法：
1100×85×18t
仕様：長尺焼結体
用途：
液晶製造装置用部材 |
