物理・物性試験：SEM（走査型電子顕微鏡）での表面観察など

試験調査／物理・物性試験

わずかな挙動や微小な領域を顕微鏡などを用いて測定、観察することで、物質の状態を明らかにします。

[ 走査電子顕微鏡（SEM、FE-SEM） ]

試料に電子ビームを走査し、発生した２次電子によって試料表面を高倍率で観察する電子顕微鏡です。ビーム照射と同時に発生するX線を測定することで、元素の定性・半定量分析を行うこともできます。また、FE-SEMではEBSP（後方散乱電子回折像）によって結晶方位を測定することもできます。

[ 電子線マイクロアナライザ（EPMA） ]

SEM、FE-SEMと同様に、試料にビームを当てることで、表面物質の定性・半定量分析を行います。SEMよりも分析に特化しています。また、指定領域内での元素ごとの分布状態を示す、マッピングを行うこともできます。

[ X線回折（粉末法） ]

結晶性粉末試料に特性X線を当て、反射X線を計測します。そうすることで物質中の原子・分子配置の周期性に関する情報を得ることができます。具体的には、物質の同定に用います。

[ 変態点測定 ]

金属試料に対して、プログラムに沿った速度、条件で熱を加えたり冷却したりします。そのときに金属組織が示す変態挙動（マルテンサイト変態など）を測定する装置です。サブゼロ処理などの特殊な条件にも対応しています。

[ マクロ・ミクロ組織観察 ]

固体試料を平面研磨し、エッチング（酸などによる腐食）を行うことで、組織の観察を行います。数倍〜1000倍くらいの倍率で観察できます。

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