TMS-100 TopMap Metro.Lab
TopMap Metro.Labは、平面や曲面の形状データを計測する、高精度・ハイコストパフォーマンスの非接触型表面形状計測システムです。
TopMap Metro.Labは、スキャニング光干渉計の搭載により、表面粗さや形状を最高20 nmの高分解能で計測できます。
また、離れている複数の表面間（最大間隔70 mm）の平行度も計測できます。
特長
- 干渉計をベースとした非接触タイプの表面形状計測ツール
- テレセントリック光学系により、ドリル穴のような深くて急峻な側面も正確に計測
- 最大70 mmの深い測定深度で多用途な計測が可能
- 広い視野でスピーディに計測
- スティッチング機能により最大80 mm平方の広い視野をサポート（オプション）
仕様
| TMS-100 TopMap Metro.Lab - ハードウェア | ||
|---|---|---|
| 干渉計タイプ | マイケルソン干渉計 | |
| 画像処理方式 | テレセントリック光学系 | |
| Z軸測定深度 | 70mm | |
| Z軸分解能 | 20nm | |
| バージョン | 標準タイプ | 拡張タイプ |
| 視野（スティッチングなし） | 35mm×22mm | 37mm×28mm |
| 水平分解能 | 47µm | 36µm |
| 水平移動範囲 | - | 50mm x 50mm |
| 視野（スティッチングあり） | - | 〜80mm x 80mm |
| 重量 | 27kg | 30kg |
| 外形寸法 [L x W x H] | 580 x 340 x 372mm | |
| 電源 | Universal Power Supply 100〜240V | |
| 動作温度 | +5〜+35℃ | |
| 保管温度 | -10〜+65℃ | |
| 相対湿度 | 最大80%、結露なきこと | |
| TMS Software - ソフトウェア | ||
| TopMap Metro.Lab の操作インタフェースとデータ解析機能を提供 | ||
| 計測物を直接モニタしながら設定や調整ができるライブビデオ機能を搭載 | ||
| 付属の COM/ActiveX または LabVIEW(TM) ドライバからリモートコントロール可能 | ||
| Visual Basicのマクロ機能によりTMSソフトウェアの大部分を制御可能 | ||
| Microsoft Excel®, MATLAB®, およびユーザ独自のデータベースと直接インポート／エクスポート可能 | ||
TMS-300 TopMap In.Line
コンパクトな業務用検査システムとして開発されたTopMap In.Line干渉計は製造ラインに簡単に組み込むことができ、製造部品の表面粗さや表面形状に関する仕様を迅速に検証できます。
画像化した測定物表面の凹凸（Z軸)の分解能は40 nm以上、視野は4.2 mm x 5.6 mm〜直径19 mmです。
特長
- 干渉計をベースとした非接触タイプの表面形状計測ツール
- 最大19mm径までの広い視野でスピーディに計測
- レーザドリルによる微細な穴など、高アスペクト比の表面形状も正確に計測
- 生産ラインでの品質チェックに最適
- Visual Basicのマクロ機能によりTMSソフトウェアの大部分を制御可能
仕様
| TMS-300 TopMap In.Line - ハードウェア | ||
|---|---|---|
| 干渉計タイプ | マイケルソン干渉計 | |
| 画像処理方式 | テレセントリック光学系 | |
| 視野（構成により異なる） | 4.2mm x 5.6mm, 6.4mm x 8.6mm, 9.6mm x 12.8mm, 13.6mm x 18.3mm, ∅19mm |
|
| Z軸測定深度 | 500µm | |
| Z軸分解能 | < 40nm | |
| 水平分解能 | 9〜39µm（視野により異なる） | |
| カメラ解像度（H x V） | 658 x 494ピクセル | |
| 外形寸法（L x W x H） | 380mm x 200mm x 120mm | |
| 電源 | Universal Power Supply 100〜240V | |
| 重量 | 約9.5kg | |
| 動作温度範囲 | +5〜+35℃ | |
| 保管温度範囲 | -10〜+65℃ | |
| 相対湿度 | 最大80%、結露なきこと | |
| TMS Software - ソフトウェア | ||
| 計測物を直接モニタしながら設定や調整ができるライブビデオ機能を搭載 | ||
| Top Map In.Line の操作インタフェースを提供 | ||
| 付属の COM/ActiveX または LabVIEW™ ドライバからリモートコントロール可能 | ||
TMS-1200
高い空間分解能が特長のTopMap µ.Labは、顕微鏡ベースの高精度・非接触型表面形状計測のためのスタンダード モデルです。
TopMap μ.Labは、微小構造物の機能表面が持つミクロの形状特性を評価します。
また、スキャニング光干渉計を利用し、計測物表面の凹凸、波状形状、表面粗さなどのさまざまな表面形状をサブナノメータ レベルの分解能でスピーディに計測します。
特長
- ナノメータ以下の分解能で、3D表面形状をスピーディに非接触で計測
- 測定物表面の粗さ（なめらかさ）にかかわらず、表面の形状や平面度を正確に計測
- Smart Surface Scanning技術により、画像の重大なコントラストずれを補正
- 表面形状の計測と評価のための、強力なTMS Softwareを搭載
- ビデオオーバレイ技術を用いた2D/3D描画機能
- スティッチング機能により広い視野を実現（オプション）
仕様
| TMS-1200 TopMap.µLabハードウェア | ||
|---|---|---|
| コントローラ | 測定用顕微鏡 | |
| 外形寸法（L x W x H） | 244 x 108 x 50mm | 452 x 265 x 194mm*1 |
| 重量 | 0.9kg | 10.4kg*1 |
| 電源 | 100〜240 VAC±10%, 50/60Hz; 最大30W | |
| 動作温度 | +5〜+40℃ | |
| 保管温度 | -10〜+65℃ | |
| 相対湿度 | 最大80%、結露なきこと | |
(*1)対物レンズ及びフォーカスブロックなしの場合
| 光学部 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 測定メソッド | スキャニング白色光干渉法（マイケルソンまたはミラウ対物レンズを使用） | ||||
| 光源 | LED、波長525nm | ||||
| カメラ | プログレッシブスキャンCCDカメラ、1392(H) x 1040(V) ピクセル | ||||
| ピエゾ移動範囲 | 最大250µm | ||||
| 対物レンズ | ズーム倍率 （係数 x） |
開口数 (NA) |
視野 (mm x mm) |
測定距離 (mm) |
ピクセル分解能 (µm) |
| ミラウ干渉対物レンズ （ニコン CF Plan） |
10 | 0.30 | 0.90 x 0.67 | 7.40 | 0.65 |
| マイケルソン対物レンズ （ニコン CF Plan）（オプション） |
2.5 | 0.075 | 3.59 x 2.68 | 10.30 | 2.58 |
| 5 | 0.13 | 1.80 x 1.34 | 9.30 | 1.29 | |
| ミラウ対物レンズ （オプション） |
20 | 0.40 | 0.449 x 0.335 | 4.70 | 0.323 |
| 50 | 0.55 | 0.180 x 0.134 | 3.70 | 0.129 | |
| マイケルソン対物レンズ （Polytec Achro MI LD） |
4 | 0.1 | 2.24 x 1.68 | > 30 | 1.61 |
| 測定性能 | ||||
|---|---|---|---|---|
| ステップサイズ | 10nm | 87nm | ||
| 評価方式*1 | 鏡面 | 粗面 | 鏡面 | 粗面 |
| 垂直分解能(RMS)*2 | 35pm | 350pm | 45pm | 1.2nm |
| 垂直分解能 single (RMS) | 195pm | 3.65nm | 300pm | 14nm |
| リピータビリティ(nm)*3 | 250pm | 2.5nm | 500pm | 20nm |
| 平均平面度偏差*4 | 550pm | 7.5nm | 2nm | 50nm |
| 校正標準に対する測定性能 (PTB Type A1 (ISO 5436-1)) | ||||
| リピータビリティ*5 | 0.07% | |||
| 測定における拡張不確かさ*6 | 0.50% | |||
| 測定時間 | 測定時間=(Z軸レンジ+10µm) / (抽出ステップサイズ x フレームレート) | |||
| 例*7 | 〜1.2分 (抽出単位：10nm) | 〜8秒 (抽出単位：130nm) | ||
(*1) 「鏡面」：相関曲線の位相評価。「粗面」：相関曲線のエンベロープ解析。
(*2) 振動が減衰し、気温が管理された条件下で、平行に置かれた銀製の平面鏡を用いた50回の測定の平均値についての、信号振幅の二乗平均平方根（RMS）。分解能singleの各値は単一の測定に対応。
(*3) わずかに傾けた平行なプレートについて、連続した100回の測定から得られた平面度の標準偏差
(*4) (ISO 1101に基づく)平面度の平均値、(*3)を参照
(*5) キャリブレートされたステップ高さ約50µmに基づく、30ステップ高さ測定のRMS偏差
(*6) 3x 合成標準不確かさ + 繰り返し条件下で連続して実行した30回の測定における名目値の偏差。合成標準不確かさとは、測定値の標準正規偏差の二乗平均を指す。
(*7) 測定条件：Z軸レンジ15µm、フレームレート30/秒、アベレージングなし
(*2) 振動が減衰し、気温が管理された条件下で、平行に置かれた銀製の平面鏡を用いた50回の測定の平均値についての、信号振幅の二乗平均平方根（RMS）。分解能singleの各値は単一の測定に対応。
(*3) わずかに傾けた平行なプレートについて、連続した100回の測定から得られた平面度の標準偏差
(*4) (ISO 1101に基づく)平面度の平均値、(*3)を参照
(*5) キャリブレートされたステップ高さ約50µmに基づく、30ステップ高さ測定のRMS偏差
(*6) 3x 合成標準不確かさ + 繰り返し条件下で連続して実行した30回の測定における名目値の偏差。合成標準不確かさとは、測定値の標準正規偏差の二乗平均を指す。
(*7) 測定条件：Z軸レンジ15µm、フレームレート30/秒、アベレージングなし
アプリケーション
- ハードディスク構成部品を非破壊で品質管理
- プラスチックフォイルの平面度
- レーザチップの表面形状
- 電気部品・自動車部品形状測定(平面度、距離、高さ、傷の検出)
- 半導体・実装部品等のコプラナリティー検査測定
- 光学レンズ部品などの表面形状測定
- セラミック基盤の反り測定
- マイクロマシン(MEMS)の微細形状測定
- トライボロジーの研究開発
- 微細加工品表面測定
- 破損・破壊断面形状測定、遺物表面形状測定
- 歯の表面形状測定
