コージェライト系低熱膨張セラミックス
コージェライト系低熱膨張セラミックスの特徴
コージェライト系低熱膨張材料です。室温付近にゼロ膨張点があり、20〜25℃の平均熱膨張係数は、0.02ppm/K 以下（アルミナの1/100以下）です。
導電性を付与しており、パーティクルの付着防止に効果があります。
特性表（参考値）
| アルミナ （KP-990） |
コージェライト系低熱膨張材 （LEC-30G） |
|
| 密度（g/） | 3.9 | 2.6 |
|---|---|---|
| ヤング率（Gpa） | 380 | 145 |
| 熱膨張係数（ppm/k） （20-25℃） |
8.0 | 0.02 |
| 比抵抗（Ω.m） | ＞10 | ＞3×10 |
熱膨張曲線と熱膨張係数
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