多くの場合、材料の特性は組成だけではなく存在する結晶相や、結晶方位、結晶サイズなどに依存する。 XRDは組成情報だけが得られるような手法では得ることのできないこれらの情報を全て得ることが可能。
図はSi(100)上に堆積したAl(111)膜のXRD極点図形を示したものである。 この図はAl(111)膜が２つの方向に配向していることを示している。 Si基板に垂直な方向（中心の大きなピーク）とﾓin-planeﾓに配向したもの（４つの小さいピーク）である。
長所
以下の結晶性に関する同定および定量 ○ 結晶相の同定 ○ 結晶性、結晶サイズ、格子間隔 ○ 応力 ○ 薄膜の配向性
制限
○ 最小分析サイズは約50um ○ 結晶相の検出下限濃度は0.5%程度
X線回折（XRD）とは
