SPRはSpreading Resistance Profiling methodの略で、広がり抵抗測定ともいう。供試体を斜め研磨し、研磨面に探針をコンタクトさせ、その接触抵抗から抵抗率やキャリア濃度を求める分析法。キャリア濃度を求めることにより、その深さ分布を知ることが可能となる。極低濃度の汚染チェックやエピタキシャル層・バルクの比抵抗測定に用いられる。