SRP(広がり抵抗測定)などの表面分析受託サービス

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SIMS、GDMS、LEXES、SRPほか表面分析受託サービス 二次イオン質量分析 グロー放電質量分析 低エネルギーX線分析 表面分析サービス(広がり抵抗測定) 標準試料販売
SIMS / RBS/PIXE / HFS / NRA / TOF-SIMS / AES, Wafer AES / XPS/ESCA
FE-SEM(走査型電子顕微鏡) / AFM/SCM / SPM / μFTIR / Ramam / SRP(広がり抵抗測定)

SRPとは

SPRはSpreading Resistance Profiling methodの略で、広がり抵抗測定ともいう。供試体を斜め研磨し、研磨面に探針をコンタクトさせ、その接触抵抗から抵抗率やキャリア濃度を求める分析法。キャリア濃度を求めることにより、その深さ分布を知ることが可能となる。極低濃度の汚染チェックやエピタキシャル層・バルクの比抵抗測定に用いられる。


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ナノサイエンス株式会社は、エバンス・アナリティカル・グループ(EAG)の一員として各種表面分析受託サービス(SRP他)を提供します。社員一人ひとりが幅広い知識を持ち、ユーザーに対して提案・アドバイス及び的確なサポートでお応えします。世界一流技術を通じて、私たちはあらゆるニーズに即応します。
SRP(広がり抵抗測定)
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