SPM（走査型プローブ顕微鏡）等の表面分析受託サービス

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表面分析1（SPM他）

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SPM（走査型プローブ顕微鏡）とは

先端形状が10nm程度という微小な探針で試料表面を走査し、試料の表面形状などを高倍率で観察して画像化する顕微鏡。このタイプの顕微鏡の特徴としては、光学顕微鏡と違い、観察時に光の波長の影響を受けないので、空間分解能が光学顕微鏡に比べてはるかに勝ること、電子顕微鏡に比べて小型であることなどが挙げられる。
原子間力顕微鏡（AFM）や走査型トンネル顕微鏡（STM）などは走査型プローブ顕微鏡の代表。他には走査型磁気力顕微鏡（MFM）、走査型ケルビンプローブフォース顕微鏡（KFM）、静電気力顕微鏡、走査型近接場光顕微鏡（SNOM）などもある。

SPM（走査型プローブ顕微鏡）の特徴

特徴：原子レベルの表面形状測定。PＮ接合分布測定（SCM）等。

定量分析	No	破壊測定	No
検出感度	-	空間分解能/ビーム径	1.5-5nm
化学結合状態	No	深さ分解能	0.01nm

SPM（走査型プローブ顕微鏡）などのお問い合わせ

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SPM（走査型プローブ顕微鏡）
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