SIMS（二次イオン質量分析）などの表面分析受託サービス

SIMS（二次イオン質量分析）の特徴

特徴：高感度分析。深さ方向分析。全元素の分析が可能。

高感度！: ppm to ppb detection limits

• SIMSは検出濃度範囲が広い：マトリックス元素から極微量不純物まで
• SIMS用標準試料を用いて、定量分析可能
• 全元素の検出が可能： H through U
• 同位体の測定が可能
• 良い深さ方向分解能：10 to 30A (ベストな場合)
• SIMSは測定できる膜厚範囲が広い：10数オングストロームから 数10μｍまで

SIMS（二次イオン質量分析）分析原理

• 一次イオン種：
  酸素（０2+ ）または、セシウム（Cs+ ）一次イオンを使用
  フォーカスされた（通常２から２０μmビーム径）の一次イオンビームを四角にラスター（スキャン）させて材料をスパッタリングする。ラスター面積は、通常数１００μm〜数１０μm角
  
• 二次イオン検出：
  ラスター領域から発生した二次イオンのうち、中心領域のみを検出する
  その領域サイズは、３０μm径〜１５０μm径（感度や試料状況で調整）
  二次イオン系（電場、磁場）で質量分離されたのち、検出器（ファラデーカップまたはエレクトロンマルチプライヤー）で検出

試料ホルダーと試料サイズ

SIMS（二次イオン質量分析）による深さ方向分析

Charles Evans & Associates社のSIMS（二次イオン質量分析）の特徴

【装置】
12台のセクターSIMS,5台のQ-pole装置を保有
- 材料毎に区分された高感度SIMS装置 -

【標準試料】
豊富なSIMS用標準試料の種類
Si, SiO2, SiN, SiC, ZnSe, diamond,Ge, GaN, GaAs,InP, HgCdTe,LiNbO3, ZnS, Cu,Cr, Pt, Ti, TiN,W,TiW, TiSi, Ta, Ta2O5, TaN, Al,ZnO, ZrO, HfO, など

• ニーズに応じて新しいSIMS用標準試料を作成します。
• 標準試料の販売も行っています。

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