RBS/PIXE（ラザフォード後方散乱分析）とは
RBS分析：薄膜の組成・密度を分析する方法の一種。ヘリウムなどの軽元素イオンを加速器を用いて高速で試料に衝突させて、試料中の原子核に衝突してはね返ってきたイオンのエネルギーの大きさを測定することで、相手元素やその分布などを分析する方法。
PIXE分析：試料中の元素構成を測定するための分析法。分析原理としては、陽子やα粒子などの重荷電粒子を加速器により加速して試料に照射し、その結果発生する元素固有の特性X線を測定して元素分析する。この分析法は非常に高感度であるため、気体元素以外の約８０種類の元素を同時に定量分析（多元素同時定量分析）することが可能。工業分析の他にも、食品中や河川の成分分析等にも利用されている分析法。
弊社で行っているラザフォード後方散乱分析では、PIXE分析を併用し、高感度の分析を可能としております。
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