試料内に含有される、特定の粒子の深さ分布を知るための分析法で、入射粒子と標的粒子の核反応により生成された粒子を測定する手法。核反応分析は加速器分析の中の1つに数えられ、手段は異なるが同様の成果を得る分析法としては、ラザフォード後方散乱分光法(RBS)、弾性反跳粒子検出法(ERDA)、粒子励起X線分析法(PIXE)がある。