HFS（水素前方散乱分析）などの表面分析受託サービス

表面分析1（HFS他）

SIMS　/　RBS/PIXE　/　HFS（水素前方散乱分析）　/　NRA　/　TOF-SIMS　/　AES, Wafer AES　/　XPS/ESCA
FE-SEM（走査型電子顕微鏡）　/　AFM/SCM　/　SPM　/　μFTIR　/　Ramam　/　SRP

HFS（水素前方散乱分析）とは

試料中の水素分析方法の一種で、薄膜表面中の水素の分布及び定量を分析する。HFSは標準試料不要、正確度の高い水素分析として知られている。

薄膜中に存在する水素の分布を分析する装置。HFS（装置）では定量的に水素分布を測定するため、水素の定量分析も可能。HFSの分析対象となるのは半導体、金属、ポリマーなどの各種薄膜材料。

ナノサイエンス株式会社は、エバンス・アナリティカル・グループ（EAG）の一員として各種表面分析受託サービス（HFS他）を提供します。社員一人ひとりが幅広い知識を持ち、ユーザーに対して提案・アドバイス及び的確なサポートでお応えします。世界一流技術を通じて、私たちはあらゆるニーズに即応します。

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