GDMS（グロー放電質量分析）などの表面分析受託サービス

GDMS（グロー放電質量分析）の原理・特徴

• 固体試料を陰極としグロー放電を用いて試料表面をスパッタし、放出された中性粒子をプラズマ内のArや電子との衝突によってイオン化させる。

• Li〜Uまでの元素についてppb〜％のバルク分析が可能。
• マトリックス効果が小さく、標準試料がない場合でも定量に近い半定量分析が可能。
• 粉体、ブロック体、薄膜、ワイヤー状等、様々な形態の試料でも補助電極を用いることで測定可能。
• 金属材料だけでなく、補助材料を用いる事で半導体材料・絶縁物材料の測定も可能。

Ｐｉｎ Ｃｅｌｌ分析　-ピン状試料の場合-

【分析に適した試料形状】　−Ｐｉｎ Ｃｅｌｌ-

定量の限られている小さいサンプルに対して効果的
ワイヤー状及び粉体試料でも、補助材料を用いて分析可能
＊フラットセル測定よりもスパッタリングレートが僅かに早く気体成分のバックグラウンドを低く維持可能

Ｆｌａｔ Ｃｅｌｌ分析　-板状試料の場合-

【分析に適した試料形状】　−Ｆｌａｔ Ｃｅｌｌ-

薄いフイルム状や平らな表面のサンプルに効果的 ＊ 平面があり、ラスネスは小さい方が好ましい 基板上の薄膜も分析可能（数〜数十μm） 表面から深さ方向へのスパッタリング毎のデータ取得値報告可能 ＊ 測定領域が広いためピンセル方式より再現性があリ、より精度の高いデータを提示可能

粉末及び小さい試料の場合

Pin Cell方式またはFlat Cell方式どちらでも分析可能
＊ 必要試料量：数〜10g

TaまたはInの補助材料を用いる事で試料を固定し測定可能
＊ 99.9999％の純度のモノを使用

　Ｉｎバインダーを用いたＳｉ粉末試料の測定例

Ｉｎの補助を用いたＮｂ２０５粉末試料の測定例

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