μFTIR（フーリエ変換赤外分光分析）などの表面分析受託サービス
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μFTIR（フーリエ変換赤外分光分析）の特徴

特徴：有機物汚染の分析評価に有効、非破壊分析。

定量分析 Yes 破壊測定 No（非破壊）
検出感度 0.1-1wt%(FTIR) 空間分解能/ビーム径 > 15μm(FTIR)
化学結合状態 Yes 深さ分解能 0.1-1μm(FTIR)

μFTIR（フーリエ変換赤外分光分析）の主な利用法

  • 有機物の微粒子、パウダー、フィルムや液体の同定
  • 物質の同定
  • コンタミネーションの同定（抽出物、残渣、副次生成物など）
  • 不良解析（表面付着物、パッド電極不良、コーティング不良など）
  • FTIR:
    ・ Si中の水素、酸素の定量分析
    ・ SiN中のH（Si-H vs N-H ）

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μFTIR（フーリエ変換赤外分光分析）
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