EDS(エネルギー分散型X線分光分析) などの表面分析受託サービス

EDS(エネルギー分散型X線分光分析) とは

EDSの大きな特徴は、広い元素範囲をカバーし、元素の種類の同定やマッピングを行うことができることである。

図は不良磁気ディスク上残渣についてSEM像と同じ場所の各種元素のEDSマップを示している。 試料はC層がCoを含む磁気記録層をカバーした状態のものである。 EDSによって、残渣はO, Mg, Al, Siが含まれていることがわかる。 この情報は磁気ディスクの不良解析の一部として汚染原因の特定に用いられた。

EDS(エネルギー分散型X線分光分析) の特徴

長所

○ 微小領域のおける元素のサーベイ（元素同定）と元素マッピング
○ 1um以下の空間分解能のマッピングと異物や欠陥部の元素同定
○ SEM装置に取り付けられて広く利用されている手法
○ 簡便な手法なので概要を把握のために最初に利用される手法

制限

○ 高精度の定量評価手法ではない
○ 試料は真空チャンバに挿入(真空が必要)
○ 絶縁性試料では金属のコーティングが通常実施される

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