AFM/SCM(原子間力顕微鏡/走査容量顕微鏡)等の表面分析受託サービス

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AFM/SCM(原子間力顕微鏡/走査型容量顕微鏡)とは

AFM(原子間力顕微鏡) : 走査型プローブ顕微鏡の一種。大気圧下で原子レベルの分解能を有する顕微鏡で、探針と試料表面との間に生ずる原子間力を用いて反射光の変位を測定し、制御信号を試料の表面状態(凹凸の様子)として観察する。特徴としては、試料表面の微細形状だけでなく、表面粗さなど画像解析が容易、液中でも測定可能といった点がある。観察対象は導電性試料に加え、高分子などの絶縁物も挙げられる。

SCM(走査型容量顕微鏡) : 先端を細く加工した針で試料表面をなぞり、針と試料の間に生ずる相互作用を画像化する顕微鏡の一種。一種で、針と試料との間に交流電圧を加えることで発生する電気容量の変化を画像化することができる顕微鏡。


AFM/SCM(原子間力顕微鏡/走査型容量顕微鏡)の特徴

特徴:原子レベルの表面形状測定。PN接合分布測定(SCM)等。

定量分析 No 破壊測定 No
検出感度 - 空間分解能/ビーム径 1.5-5nm
化学結合状態 No 深さ分解能 0.01nm

AFM/SCM(原子間力顕微鏡/走査型容量顕微鏡)などのお問い合わせ

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AFM/SCM(原子間力顕微鏡/走査型容量顕微鏡)
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