AES（オージェ電子分光分析）などの表面分析受託サービス

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AES（オージェ電子分光分析）とは

試料表面に電子線を照射して試料から発生するオージェ電子を検出し、検出されたオージェ電子を解析することにより、試料表面の元素分析を行うこと。

AES（オージェ電子分光分析）装置とは

細く絞った電子線を物質の表面に照射し、放出されるオージェ電子を検出して分析を行う装置。オージェ電子分光分析装置を用いると、物質の表面を構成する元素の分析が可能で、特に軽元素の分析に適する。

AES（オージェ電子分光分析）の特徴

特徴：300mm ウエハまで対応可能。非破壊分析。微小領域分析。

定量分析	Yes	破壊測定	No（非破壊）
検出感度	0.1-1.0at%	空間分解能/ビーム径	0.01-2μｍ
化学結合状態	一部可	深さ分解能	2-20nm

AES（オージェ電子分光分析）などのお問い合わせ

ナノサイエンス株式会社は、エバンス・アナリティカル・グループ（EAG）の一員として各種表面分析受託サービス（オージェ電子分光分析他）を提供します。社員一人ひとりが幅広い知識を持ち、ユーザーに対して提案・アドバイス及び的確なサポートでお応えします。世界一流技術を通じて、私たちはあらゆるニーズに即応します。

AES（オージェ電子分光分析）
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